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名詞解釋
潔凈氮氣真空烘箱（又名:充氮真空烘箱）;其能提供潔凈的真空環(huán)境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空無氧環(huán)境;被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、科研等行業(yè)，可同時實現(xiàn)真空、潔凈、無氧和高溫的烘箱。
主要應(yīng)用
一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中，半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮氣聯(lián)動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。
基本要求
潔凈度100級以上，真空度50KPar，可自動聯(lián)動開啟氮氣閥門，溫度:常溫→230℃，整體不銹鋼材料，可編程PLC控制器，多級過溫保護系統(tǒng)。
參考資料
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