上海國際招標有限公司關(guān)于科學儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項目(一期)原子層沉積設(shè)備采購的招標公告
(招標編號:2526002019)
項目所在地區(qū):上海市
一、招標條件
本科學儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項目(一期)原子層沉積設(shè)備采購已由項目審批/核準/備案機關(guān)批準,項目資金來源為國有資金480萬元,招標人為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。本項目已具備招標條件,現(xiàn)招標方式為公開招標。
二、項目概況和招標范圍
規(guī)模:原子層沉積設(shè)備
范圍:本招標項目劃分為1個標段,本次招標為其中的:
(001)科學儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項目(一期)原子層沉積設(shè)備;
三、投標人資格要求
(001科學儀器創(chuàng)新港能力建設(shè)項目(一期)原子層沉積設(shè)備)的投標人資格能力要求:
(1) 在中華人民共和國境內(nèi)(不包括香港、澳門及中國臺灣地區(qū))登記成立的法人或非法人組織;
(2) 法人的分支機構(gòu)以自己的名義參與投標時,應(yīng)提供依法登記的相關(guān)證明材料和由法人出具的對該投標活動承擔全部直接責任的明確承諾;
(3) 投標人應(yīng)為原子層沉積設(shè)備的專業(yè)制造商或是獲得原子層沉積設(shè)備制造商授權(quán)的代理商。如是代理商投標,則須提供原子層沉積設(shè)備制造商出具針對本項目的制造商授權(quán)書原件;
(4) 參加本次招標活動前三年內(nèi)(從2023年1月1日至今)未被列入嚴重失信主體、失信被執(zhí)行人或重大稅收違法失信主體,須提供"失信被執(zhí)行人"、“政府采購嚴重違法失信行為記錄名單”、"重大稅收違法失信主體"的三張查詢結(jié)果截圖;
(5) 投標人的出資人(不含上市公司持股比例未達到5%的股東,下同)與本項目其他投標人的出資人應(yīng)不相同(當兩家以上投標人的出資人中含有同一主體時,將按一家有效投標人計算,該投標人為相關(guān)投標人中通過初步評審且投標報價最低的投標人,其他投標人將被判為無效投標人);

（6）具備法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件；

（7）本項目不接受聯(lián)合體投標。；

本項目不允許聯(lián)合體投標。

四、招標文件的獲取

獲取時間：從2026年01月08日15時00分到2026年01月13日15時00分
獲取方式：在上海國際招標有限公司網(wǎng)站在線獲取招標文件

五、投標文件的遞交

遞交截止時間：2026年02月02日10時00分
遞交方式：上海市延安西路358號美麗園大廈20樓2001會議室紙質(zhì)文件遞交

六、開標時間及地點

開標時間：2026年02月02日10時00分
開標地點：上海市延安西路358號美麗園大廈20樓2001會議室

七、其他

一、招標條件

本招標項目已由相關(guān)單位批準，項目資金來源為國有企業(yè)投資，招標人為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。本項目已具備招標條件，招標方式為公開招標。

二、項目概況和招標范圍

本項目聚焦精密光學加工中心建設(shè)，對標國際先進水平，實現(xiàn)科學儀器關(guān)鍵零部件在地化生產(chǎn)，構(gòu)建精密制造能力閉環(huán)。
貨物名稱：原子層沉積設(shè)備
數(shù)量：1臺；
用途：用于在光學元件及精密零部件表面沉積高質(zhì)量、納米級厚度的功能性薄膜，實現(xiàn)原子層級的精確控制，用于制備光學增透膜、反射膜、保護膜以及特種光學涂層，顯著提升器件的光學性能、環(huán)境穩(wěn)定性和使用壽命。主要規(guī)格：

1. 核心功能與適用范圍：設(shè)備需用于沉積Al?O?、TiO?、SiO?等高質(zhì)量薄膜，適用于最大直徑300mm（12英寸）及以下的襯底/基底材料，兼容熱法及等離子體增強兩種工藝模式。
2. 腔體結(jié)構(gòu)與溫控性能：采用真空腔內(nèi)內(nèi)置反應(yīng)腔的雙腔體結(jié)構(gòu)，反應(yīng)腔需采用外部環(huán)繞對稱輻射加熱方式，確保腔內(nèi)溫度均勻性。熱法工藝最高加熱溫度不低于500℃，等離子工藝不低于300℃。
3. 前驅(qū)體輸送與處理系統(tǒng)：需配置≥2路加熱型前驅(qū)體源系統(tǒng)（溫度≥300℃）和≥3路常

溫液態(tài)源系統(tǒng),均具備精確溫控(精度≤±2℃)。管路系統(tǒng)需配置在線惰性氣體自動凈化功能,并對有毒性氣體管路配備雙安全互鎖硬件。
4)真空、傳片與安全系統(tǒng)配置干式真空泵(極限壓力≤1.5×10?²Torr)及集成傳片裝置實現(xiàn)樣品在不破真空條件下傳送。配備具備自清潔功能的泵前尾氣過濾裝置,以處理并滅活反應(yīng)副產(chǎn)物。
5)等離子體增強功能 需集成1套電容耦合射頻(13.56MHz,功率≥300W)等離子體系統(tǒng),配備匹配器、專用氣體管路及集成蓋板,以支持等離子體輔助沉積工藝。
6)控制系統(tǒng)與工藝性能:采用PLC與計算機集成控制,具備實時工藝監(jiān)測、數(shù)據(jù)導出及安全互鎖功能。
具體的技術(shù)規(guī)格詳見本招標文件第五章“采購需求”。
本次招標的最高投標限價為480萬元人民幣。
三、投標人資格要求
(1) 在中華人民共和國境內(nèi)(不包括香港、澳門及中國臺灣地區(qū))登記成立的法人或非法人組織;
(2) 法人的分支機構(gòu)以自己的名義參與投標時,應(yīng)提供依法登記的相關(guān)證明材料和由法人出具的對該投標活動承擔全部直接責任的明確承諾;
(3) 投標人應(yīng)為原子層沉積設(shè)備的專業(yè)制造商或是獲得原子層沉積設(shè)備制造商授權(quán)的代理商。如是代理商投標,則須提供原子層沉積設(shè)備制造商出具針對本項目的制造商授權(quán)書原件;
(4) 參加本次招標活動前三年內(nèi)(從2023年1月1日至今)未被列入嚴重失信主體、失信被執(zhí)行人或重大稅收違法失信主體,須提供“失信被執(zhí)行人”、“政府采購嚴重違法失信行為記錄名單”、“重大稅收違法失信主體”的三張查詢結(jié)果截圖;
(5) 投標人的出資人(不含上市公司持股比例未達到5%的股東,下同)與本項目其他投標人的出資人應(yīng)不相同(當兩家以上投標人的出資人中含有同一主體時,將按一家有效投標人計算,該投標人為相關(guān)投標人中通過初步評審且投標報價最低的投標人,其他投標人將被判為無效投標人);
(6) 具備法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件;
(7) 本項目不接受聯(lián)合體投標。

四、招標文件的獲取

獲取時間:從 2026 年 1 月 8 日 15 時 00 分到 2026 年 1 月 13 日 15 時 00 分
獲取方式:在上海國際招標有限公司網(wǎng)站在線獲取招標文件。招標文件每套售價 1000 元,售后不退。潛在投標人首次使用該網(wǎng)站需進行免費注冊,注冊時應(yīng)按要求提供《供應(yīng)商注冊專用授權(quán)函和承諾書》(可從供應(yīng)商注冊頁面下載)和營業(yè)執(zhí)照等掃描件,供應(yīng)商應(yīng)當提前準備,盡早辦理,以免影響獲取招標文件。已注冊的潛在投標人可在登錄網(wǎng)站后通過快捷入口"項目公告"-“立即參與”-“提交資料”-“支付費用”-"下載文件"獲取招標文件。招標代理機構(gòu)會將紙質(zhì)招標文件快遞給潛在投標人,電子發(fā)票將發(fā)至投標人登記的郵箱。未按規(guī)定獲取招標文件的潛在投標人將被拒絕參加投標。

五、投標文件的遞交

遞交截止時間:2026 年 2 月 2 日 10 時 00 分(北京時間)
遞交方式:上海市延安西路 358 號美麗園大廈 20 樓 2001 會議室紙質(zhì)文件遞交

六、開標時間及地點

開標時間:2026 年 2 月 2 日 10 時 00 分(北京時間)
開標地點:上海市延安西路 358 號美麗園大廈 20 樓 2001 會議室

七、其他

本項目為集中采購目錄以外且金額未達到分散采購限額標準的項目,不適用《中華人民共和國政府采購法》及其實施條例等政府采購的相關(guān)規(guī)定。

八、監(jiān)督部門

本招標項目的監(jiān)督部門為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。

九、聯(lián)系方式

招標人:上海儀創(chuàng)港科技有限公司
地 址:上海市松江區(qū)莘磚公路 518 號 6 幢
聯(lián)系人:張艷
電 話:登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
招標代理機構(gòu):上海國際招標有限公司
地 址:上海市延安西路 358 號美麗園大廈 14 樓
聯(lián)系人:吳越、樊宏亮

電話: 登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
八、監(jiān)督部門
本招標項目的監(jiān)督部門為上海儀創(chuàng)港科技有限公司。
九、聯(lián)系方式
招標人:上海儀創(chuàng)港科技有限公司
地 址:上海市松江區(qū)莘磚公路 518 號 6 幢
聯(lián)系人:張艷
電 話:登錄后可見
電子郵件:登錄后可見
招標代理機構(gòu):上海國際招標有限公司
地 址: 上海市延安西路 358 號 14 樓
聯(lián)系人:吳越
電 話: 登錄后可見
電子郵件: 登錄后可見
招標人或其招標代理機構(gòu)主要負責人(項目負責人): 吳越(簽名)
招標人或其招標代理機構(gòu): (蓋章)