C-43型 9英寸 國(guó)產(chǎn)高精度光刻機(jī) 多點(diǎn)光源曝光頭

C-43型9英寸國(guó)產(chǎn)高精度光刻機(jī)多點(diǎn)光源曝光頭是一款專用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件以及聲表面波器件的研制和生產(chǎn)的設(shè)備。其出色之處在于其高度的找平機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多種材料的高精度曝光，包括硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片和寶石片等。

工作方式方面，C-43型9英寸國(guó)產(chǎn)高精度光刻機(jī)采用一次性光刻曝光，即在一次操作中完成曝光的整個(gè)過(guò)程。

C-43型9英寸國(guó)產(chǎn)高精度光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：

設(shè)備配備了一件承片臺(tái)，其尺寸可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行定制。

曝光頭采用了多點(diǎn)光源曝光頭，其性能特點(diǎn)如下：

出射光斑直徑不超過(guò)230mm，采用高壓直流汞燈，功率為350W。

在直徑為230mm的范圍內(nèi)，光的不均勻性小于±10%。

能夠在真空密封條件下進(jìn)行曝光。

曝光時(shí)間可以通過(guò)0.1～999.9秒的時(shí)間繼電器進(jìn)行設(shè)定。

汞燈的位置可以通過(guò)精密的x、y、z調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行調(diào)整，分別可以調(diào)節(jié)±5毫米。

具備風(fēng)扇冷卻裝置。

分辨率不低于5μm。

具備真空吸片功能。

具有真空密封和反吹氣的功能，通過(guò)調(diào)節(jié)密封真空的大小可以實(shí)現(xiàn)硬接觸曝光（密封真空≤-0.05 Mpa）、軟接觸曝光（密封真空在-0.05Mpa～-0.02Mpa之間）和微力接觸曝光（密封真空≥-0.02Mpa）。

C-43型9英寸國(guó)產(chǎn)高精度光刻機(jī)主要配置：

一臺(tái)多點(diǎn)光源曝光頭，支持一次性曝光。

曝光面積不小于φ230mm。

曝光不均勻性小于±10%。

曝光強(qiáng)度不低于5mw。

曝光分辨率不高于5μm。

曝光模式為單面曝光。

支持多種掩膜版尺寸，包括3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、8英寸、9英寸。

基片厚度不超過(guò)5mm。

曝光燈功率為350W。

曝光定時(shí)范圍為0～999.9秒，可調(diào)。

電源要求為單相AC 220V 50Hz，功耗不超過(guò)1kW。

需要潔凈壓縮空氣壓力不低于0.4Mpa。

可以實(shí)現(xiàn)真空度在-0.07Mpa～-0.09Mpa之間。

設(shè)備尺寸為700×650×1200毫米（長(zhǎng)×寬×高），重量約為110kg。

備件包括一臺(tái)真空泵、一只汞燈和15米φ8氣管。