電子顯微鏡

來源：吳江市松陵鎮(zhèn)恒準精密儀器經(jīng)營部 2025年12月09日 07:42

電子顯微鏡

　電子顯微鏡（electron microscope），簡稱電鏡，是使用電子來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。
　　高速的電子的波長比可見光的波長短（波粒二象性），而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制，因此電子顯微鏡的分辨率（約0.1納米）遠高于光學(xué)顯微鏡的分辨率（約200納米）。

　電子顯微鏡的主要組成部分是：
　　電子源是一個釋放自由電子的陰極，一個環(huán)狀的陽極加速電子。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高，一般在數(shù)千伏到3百萬伏之間。
　　電子透鏡用來聚焦電子。一般使用的是磁透鏡，有時也有使用靜電透鏡的。電子透鏡的作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡的作用是一樣的。光學(xué)透鏡的焦點是固定的，而電子透鏡的焦點可以被調(diào)節(jié)，因此電子顯微鏡不象光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動的透鏡系統(tǒng)。
　　真空裝置。真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向。
　　樣品架。樣品可以穩(wěn)定地放在樣本架上。此外往往還有可以用來改變樣品（如移動、轉(zhuǎn)動、加熱、降溫、拉長等）的裝置。
　　探測器，用來收集電子的信號或次級信號。

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