干式真空機組，也稱為干式機械泵，是指泵能夠從大氣壓力開始吸入，將吸入的氣體直接排放到大氣中，泵腔內(nèi)沒有油或其他作業(yè)介質(zhì)，泵的極限壓力與油封式真空泵適當(dāng)或接近的機械真空泵。

　　關(guān)于一般無油真空體系，能夠在油封式真空泵上添加冷圈套或吸附圈套等附件，以避免逆流，但不能解決問題，會使體系復(fù)雜化。在適合的環(huán)境，運用適合的干式真空機組，能夠使設(shè)備的運用作用愈加抱負(fù)。

干式真空機組的作業(yè)原理是什么？下面我們一起分析一下。

　　1) 干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵是使用一對螺釘在泵殼體上一起高速反向旋轉(zhuǎn)而發(fā)生的具有吸入和排氣效果的進氣設(shè)備，兩個螺釘通過細(xì)微的動平衡校對，由軸承支撐，安裝在泵殼體上，螺釘和螺釘之間有必定的間隙，因此泵作業(yè)時彼此無沖突，運動平穩(wěn)，噪音小，運轉(zhuǎn)腔不需要潤滑油。通常被用來作為油封式、水環(huán)式、噴射式真空泵的替代產(chǎn)品。

　　2) 無油往復(fù)真空泵

　　活塞往復(fù)運動定期改動泵腔（缸）的作業(yè)容積吸入的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)類似于往復(fù)活塞緊縮機。作業(yè)時，吸入管連接在真空容器上，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空枯燥、混凝土真空操作等。

　　3) 爪真空泵

　　爪真空泵由多級轉(zhuǎn)子組成，每級有兩個轉(zhuǎn)子，兩個轉(zhuǎn)子反方向轉(zhuǎn)動，進氣口連接泵腔，泵腔體積增大，開端吸入，轉(zhuǎn)子封閉進氣口時，吸入結(jié)束，泵腔變小，氣體緊縮。排氣孔打開后，泵排出，排氣孔封閉后，排出完結(jié)，循環(huán)。

　　4) 無油渦旋真空泵

　　無油渦旋真空泵的漩渦盤由一端與平面相接的一個或多個螺旋組成漩渦狀盤結(jié)構(gòu)。由靜態(tài)旋渦盤和移動旋渦盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了旋渦無油真空的根本吸入結(jié)構(gòu)。例如，在兩級無漩渦油真空泵中，有對應(yīng)于兩個方向的固定漩渦盤和兩個旋渦盤之間的旋轉(zhuǎn)漩渦盤。移動、靜態(tài)渦旋盤相對運動構(gòu)成容積不斷改變的新月形真空腔，從進氣口吸入空氣，從出氣口排出，完結(jié)排氣循環(huán)。