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純水設(shè)備】隨著電子工業(yè)的發(fā)展,在芯片的生產(chǎn)加工過程中,對(duì)于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,高純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個(gè)部分:超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)復(fù)雜其又可分為:預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。預(yù)處理部分主要包括:沙濾、活性炭塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池);一次純水部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透;超純水部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過程中,輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心,再加上超濾設(shè)備(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中,管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。蘇州皙全皙全純水設(shè)備公司可根據(jù)客戶要求制作各種流量的純水設(shè)備,去離子水設(shè)備,超純水設(shè)備及軟水處理設(shè)備。純水設(shè)備實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備。


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